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LAM 853-067076-011 模块

型号:853-067076-011

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  • LAM Research Corporation 的产品包括沉积系统、蚀刻系统、清洁系统、光刻胶剥离系统等。沉积系统将材料薄膜沉积到基板上,而蚀刻系统则从基板上去除材料。清洁系统去除基板上的杂质,光刻胶剥离系统去除芯片制造过程中使用的光刻胶。

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