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ZYGO 8020-0237-010090-A6270ZMI-501A 模块

型号：8020-0237-010090-A6270ZMI-501A

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ZYGO 8020-0237-010090-A6270ZMI-501A 模块

ZYGO是一家专业从事光学计量和高精度光学的公司。zygo.com
ZMI 501A 是一个外壳，可输出正交或上/下脉冲（串行）和 24 位数字（并行）测量数据。
ZYGO 8020-0237-010090-A6270ZMI-501A是一款用于测量位移和位置的外壳，分辨率为24位。以下是帮助您更好地理解此控制器的一些步骤：
- ZYGO ZMI 501A 是一款位移测量干涉仪，可输出正交或上/下脉冲（串行）和 24 位数字（并行）测量数据[2]。
- 8020-0237-01 是用于容纳测量系统的 ZYGO ZMI 501A 外壳的部件号。外壳有自粘脚，也可以用四个螺钉固定到底座[2]的螺纹安装孔中。
- ZYGO ZMI 501A采用激光头进行位移测量干涉，实现高分辨率测量[4]。
- ZYGO ZMI 501A 是一款高精度测量系统，用于半导体制造、光学和精密加工等各种应用中的位置和位移测量

ZYGO 8020-0237-010090-A6270ZMI-501A 模块
ZYGO 8020-0237-010090-A6270ZMI-501A 模块

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