ZYGO 8020-0237-03ZMI-501A 模块
ZYGO 8020-0237-03ZMI-501A 是一种用于测量表面的计量仪器的控制器。以下是有关控制器的一些详细信息：
- ZMI-501A 是一款 24 位、2 轴测量板套件，其中包括 8020-0237-03 控制器。
- 该控制器由 ZYGO Corporation 制造，ZYGO Corporation 是一家提供精密计量仪器和光学解决方案的公司。
- 该控制器用于计量仪器中的载物台位置测量。
- 该控制器是 ZMI-1000A 计量仪器中使用的测量板套件的一部分。
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