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ZYGO ZMI-501 模块

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ZYGO ZMI-501 模块

ZMI-501 是 Zygo Corporation 开发的测量板，用于其 ZMI 500 系列位移测量干涉仪 (DMI) 解决方案[2]。ZMI-501 测量电子设备提供纳米级分辨率以及通用数据输出格式和多种电子设备格式[2]。以下是 ZMI-501 测量板的一些技术细节：